歡迎光臨~蘇州捷納特精密科技有限公司
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| 整機規格 | 500mm(W)×500mm(D)×310mm(H) |
| 腔體規格 | Φ120mm×157mm |
| 腔體容積 | 1.8L |
| 電極規格 | 外置環形電極 |
| 載物規格 | 單層，150mm×100mm（平放、懸掛均可） |
| 電源系統 | 固態晶體管等離子發生源，40KHz |
| 控制系統 | 手動控制 |
| 真空系統 | 抽速：3L/S |
| 氣路系統 | 2路工作氣體、1路放空 |
| 工作電壓 | AC220V |
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